北方工业大学法学导师：闫江 正文

闫江 ?教授，博导，国家特聘专家。
? 现任北方工业大学高精尖创新研究院院长。
在微电子领域有超过30多年的工作经历。
先后任职于中科院微电子研究所，美国德克萨斯大学微电子中心和英飞凌（Infineon）公司美国研发部。
曾参与和负责了与IBM, 韩国三星, Globalfoundries, 日本东芝, STMicroelectronics和台湾联华电子（UMC）等公司的联合研发项目。
2009年回国后任职于中国科学院微电子研究所，主持参与了多项重要科研及产业化项目，包括二项国家重大科技专项课题：“22纳米关键工艺技术先导研究与平台建设”和“16/14nm基础技术研究”。
? 曾获得中国科学院2014年度杰出科技成就奖和北京市2016年度科学技术奖一等奖。
主持参与了多项国内外重要科研项目，承担了2项国家重大科技专项课题，获得40余项美国授权发明专利，50余项中国授权发明专利，发表学术论文超过60篇。
主持若干项国家和北京市自然科学基金面上课题。
个人简历 1978.10 - 1983.7? 中国科学技术大学? 半导体 学士1983.9 - 1986.11? 中国科学院半导体研究所? 电子工程 硕士1995.1 - 1999.4? 美国德克萨斯大学奥斯汀分校 电子工程 博士 教授课程 人工智能技术导论? 学科前沿? 半导体工艺技术 主要研究领域和方向 ? ?人工智能芯片技术及其应用 近五年的荣誉成果 1、 Nan Zhang , Jing Zhang，J. Yan et al.? O2 plasma treated biosensor for enhancing detection sensitivity of sulfadiazine in a high-к HfO2 coated silicon nanowire array. , Sensors & Actuators:B. Chemical 306(2020) 127464 SCI 一区2、 Zhiyuan Xu, Qingyi Meng, Qiang Cao, Yushi Xiao, Huan Liu, Gang Han, Shuhua Wei, Jiang Yan, and Lidong Wu*.Selective Sensing of Copper Ions by MesoporousPorphyrinic Metal-Organic Frameworks Nanoovals. Anal. Chem., Vol. 92, No. 2, 2201-2206, 2020.SCI 三区3、Qi Qi, Chunhui Liu, Lintao Liu, Qingyi Meng, Shuhua Wei*, Anjie Ming*, Jing Zhang, Yanrong Wang, Lidong Wu, Xiaoli Zhu, Feng Wei and Jiang Yan, Fabrication, Characterization, and Application of Large-Scale Uniformly Hybrid Nanoparticle-Enhanced Raman Spectroscopy Substrates, Micromachines 10, 282, 2019. (SCI 三区? IF:2.426)4、Q. Zhang, H. Tu*, H. Yin*, J. Yan et al. “Influence of the hard masks profiles on formation of nanometer Si scalloped fins arrays” [J]. Microelectronic Engineering, pp.48-54, 198 (8), 2018, doi: https://doi.org/10.1016/j.mee.2018.07.001. SCI 三区5、Q. Zhang, H. Tu*, Yin H*, J. Yan* et al. Si Nanowire Biosensors Using a FinFET Fabrication Process for Real Time Monitoring Cellular Ion Actitivies [C], 2018 IEEE International Electron Devices Meeting (IEDM), IEEE, 2018: 29.6. 1-29.6. 4. 顶级会议论文6、Q. Zhang, H. Tu, S. Gu, J. Yan et al. Influence of Rapid ThermalAnnealing on Ge-Si Interdiffusion in Epitaxial Multilayer Ge0. 3Si0. 7/Si Superlattices with Various GeSi Thicknesses [J]. ECS Journal of Solid State Science and Technology, 2018, 7(11): P671-P676. SCI 三区7、Yingjie Wang, Peng He, Jing Zhang , Jiang Yan, Dmitry V. Lopaev,Xin-Ping Qu, Mikhail R. Baklanov, A non-destructive, fast evaluation of PVD diffusion barriers deposited on porous low-k dielectrics, Microelectronic Engineering 198,22–28 (2018) SCI 四区?8、陈曦，张静, 闫江等. Si离子辐照下Al2O3栅介质的漏电机制，半导体技术，2019年07期?9、朱轩民，张静，闫江等. NH3 等离子体钝化对 Al2O3 /SiGe 界面的影响，半导体技术，第44卷，第6期 近年来主要科研项目 主持 国家自然科学基金面上项目 61874002 集成电路制造中关键图形工艺的模型研究主持 北京市自然科学基金面上项目 4182021 图形化工艺仿真模型的研究主持 北京市科委项目 高端芯片设计与制造关键光刻技术研究与应用? 近年来出版的主要教材与专著 在研主要项目 国家自然科学基金面上项目：集成电路制造中关键图形工艺的模型研究北京市自然科学基金面上项目：图形化工艺仿真模型的研究北京市科委项目：高端芯片设计与制造关键光刻技术研究与应用横向项目：BD-C5薄膜的开发? 国内外学术活动
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