余志平 ，1967 年本科毕业于清华大学无线电电子学系 （1962 年入学），为清华大学微电子学研究所（简称微电子所）教授、博士生导师。杭州电子科技大学特聘教授。

1979 年由清华大学与教育部派送去美国斯坦福（Stanford）大学攻读研究生学位。于 1980 与1985 年分别获得斯坦福大学电机工程系硕士、博士学位。1986 年返清华任教，之后长期在清华与斯坦福两校从事教学与科研工作。在微电子所先后担任过 CAD 室室主任与微电子所副所长 （1997－2007），现为美国半导体设备制造公司Novellus 在清华微电子所设立的Novellus 微电子学教授，斯坦福大学访问教授，IEEE（国际电机电子工程师协会）Fellow。

余志平的专业领域是集成电路计算机辅助设计（ICCAD），其在半导体器件模拟与建模的研究工作与成果为世界范围内同行所熟知与认可。已发表学术论文300 余篇，合著英、中文专著各一本。七五计划期间（1986-1990）参与组织的熊猫集成电路设计系统获 1993 年国家科技进步一等奖。

余志平担任过的与专业有关的社会工作包括：IEEE Transactions on IC CAD 杂志副主编 （1996－2005 ），国务院学位委员会第五届学科评议组 （电子科学与技术）成员（2003－2008 ），清华大学第一届教授提名委员会信息学科委员（2003－2008），韩国政府ETRI(电子通信研究院）顾问委员会成员（2006－2008）及IEEE Fellow 提名委员会成员 （2009）。他目前是清华国际学术交流委员会的委员与IEEE EDS（电子器件分会）Nanotechnology（纳米技术）委员会成员。

余志平近年来的研究项目主要集中在纳电子器件 （包括石墨烯器件与碳基变阻存储器）、CMOS 射频电路建模与设计、半导体器件物理（包括量子输运与能带计算）等。已承担与正在承担的国家科研项目包括国家自然科学基金的重点项目与国际合作重点项目，973、863项目，国家重大科技专项（01-03）项目。参与的国家“863”计划“0.09 微米CMOS 集成电路大生产工艺与可制造性”获2008年国家科技进步二等奖。他的研究工作有广泛的国际合作，包括Intel，台积电（TSMC），Cadence 等国际知名集成电路公司的项目资助。

余志平在清华与美国斯坦福大学都培养了不少博士、硕士生。他指导过与正在指导的清华本科生也在研究工作中做出了一些具有国际水平的成果。

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