中国科技大学合肥微尺度物质实验室导师：刘颖 正文

　　个人详细信息
　　1．个人学习、工作及研究经历1990-1994 长春光学精密机械学院 理学学士1994-1996 中科院长春光学精密机械研究所应用光学国家重点实验室1996-2001 中科院长春光学精密机械研究所 理学博士毕业2001-至今 中国科学技术大学国家同步辐射实验室2009-2010 德国弗雷德里希•席勒 耶拿大学（Friedrich Schiller University Jena）应用物理研究所 中科院公派访问学者 2．主要研究方向软X射线-真空紫外光学 衍射光学 微制作技术 3．代表性科研成果期刊文章（* 通讯作者）：
　　1）Shengnan He，Ying Liu*，Jingtao Zhu，Haochuan Li，Qiushi Huang，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，Zhanshan Wang，and Shaojun Fu，"SiC/W/Ir multilayer-coated grating for enhanced efficiency in 50–100 nm wavelength range in Seya–Namioka mount，" Opt．Lett．36（2），163-165 （2011）．
　　2）Shengnan He，Ying Liu*，Keqiang Qiu，Hongjun Zhou，Tonglin Huo，and Shaojun Fu，“Efficiency measurement of optical components in 45-110 nm range at beamline U27，HLS，” Chin．Opt．Lett．8（12），1131-1134 （2010）．
　　3）Ying Liu*，Hans-Jörg Fuchs，Zhengkun Liu，Huoyao Chen，Shengnan He，Shaojun Fu，Ernst-Bernhard Kley，and Andreas Tünnermann，“Investigation on the properties of a laminar grating as a soft x-ray beam splitter，” Appl．Opt．49（23），4450-4459 （2010）．
　　4）Ying Liu*，Xin Tan，Zhengkun Liu，Xiangdong Xu，Yilin Hong，and Shaojun Fu*，“Soft X-ray holographic grating beam splitter including a double frequency grating for interferometer pre-alignment，” Opt．Express 16（19），14761-14770 （2008）．
　　5）Xudi Wang*，Ying Liu，Xiangdong Xu，Shaojun Fu*，and Zheng Cui，“Reactive ion beam etching of HfO2 film and removal of sidewall redeposition，” J．Vac．Sci．Technol．A 24（4），1067-1072 （2006）．

　　授权发明专利：
　　1）X射线全息衍射光栅分束器，授权号 ZL 200810024295．0．
　　2）光栅离子束刻蚀的光学在线检测装置及检测方法，授权号 ZL 200710020220．0．
　　3）位相型朗奇光栅槽深的光学检测方法，发明专利，授权号 ZL 200810021578．x．
　　4）具有刻蚀深度在线检测机构的衍射光学元件扫描刻蚀装置，授权号 ZL 200810025255．8．

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